一、SF6氣體質量流量控制器MFC及流量計MFM 產品概述：

1、精度更高，響應更快，帶網(wǎng)口；

2、管狀分流，不易堵塞；

3、適用于各種低壓和高壓管道；

4、預熱時間短，零漂小，可靠性高；

5、模擬量輸入/輸出可使用二次表或流量計算機控制和顯示流量；

6、數(shù)字通訊RS485/232 Modbus、Profibus、Devicenet等協(xié)議可選；

二、產品應用：
電力行業(yè) / 太陽能 / 燃料電池 / 工業(yè)制作 / 石油石化
煤炭冶金 / 制氣配氣 / 環(huán)保 / 半導體 / 各種儀器分析

三、SF6氣體質量流量控制器MFC及流量計MFM 產品參數(shù)：

     （如果所需性能要求與下述性能不同，可以溝通定制）

量程范圍：2SCCM～6000SLM

準 確  度：±0.5%F.S

線       性：±0.5%F.S

重復精度：±0.2%F.S

響應時間：流量計：＜0.1s； 流量控制器：<0.2s

數(shù) 字  量：RS232/485，MODBUS協(xié)議等。

模 擬  量：0～5V、4-20mA、1～5V

供       電：±15VDC，24VDC

工作溫度：0～50℃

工作壓降：<0.01Mpa(流量計）

工作壓差：0.05~0.5Mpa （流量控制器）

耐       壓：3MPa/10MPa

漏       率：1×10-9SCCSHe

溫度系數(shù)：±0.025%F.S/℃

底座材質：不銹鋼

密封材質：氟橡膠，三元乙丙橡膠、氯丁橡膠，丁腈橡膠

接       頭：φ3，φ6，1/8"，1/4"，3/8"，1/2"，1"…….卡套、VCR，寶塔，法蘭連接等