質(zhì)量流量控制器用于對于氣體或者液體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制。擴(kuò)散，氧化，分子束外延，CVD，等離子刻蝕，濺射，離子注入，以及真空鍍膜設(shè)備，光纖熔煉，微反應(yīng)裝置，混氣配氣系統(tǒng)，毛細(xì)管測量氣相色譜儀，光導(dǎo)纖維制造設(shè)備中。并廣泛用于石油化工。冶金，制藥等。

 

　　質(zhì)量流量控制器的運(yùn)用：

　　熱質(zhì)量流量計一般用以監(jiān)控或操縱與品質(zhì)有關(guān)的全過程，比如在于未反映成份的相對質(zhì)量的化學(xué)變化，比如秘方，原材料均衡明確及其進(jìn)出口貿(mào)易工作交接實際操作。因為這些是制造廠中十分重要的總流量測量，因而氣體流量測量的穩(wěn)定性和精確性非常重要。

　　熱質(zhì)量流量計一般用以監(jiān)控或操縱與品質(zhì)相關(guān)的進(jìn)程，比如在于未反映成份的相對質(zhì)量的化學(xué)變化。在檢驗可壓縮性蒸汽和廢氣的氣體流量時，測量不會受到工作壓力和/或溫度轉(zhuǎn)變的危害。熱質(zhì)量流量計的功用之一是測量低氣體流速或低氣體流速（每分25英寸下列），遠(yuǎn)少于一切其他設(shè)備能夠檢驗到的水準(zhǔn)。

　　質(zhì)量流量控制器是靠流體流過管道時發(fā)生震動的科里奧利基本原理來做到精確測量目地，因而質(zhì)量流量計的安裝情況應(yīng)該是無應(yīng)力狀態(tài)，蒸汽流量計安裝應(yīng)與管道在同一中心線上，并且應(yīng)在質(zhì)量流量計傳感器周邊做支撐點(diǎn)，不能用傳感器來支撐點(diǎn)管路，這樣可以清除震動，降低偏差。

　　挑選的安裝地址應(yīng)避開大變壓器或電動機(jī)，由于傳感器與壓力變送器中間銜接的電纜線被例如電機(jī)等射出的磁場遮蓋或挨近，就會導(dǎo)致影響，使讀值不準(zhǔn)確而造成偏差。也有，安裝時要依據(jù)流體不一樣特性而選用不一樣的安裝房屋朝向，也就是要持續(xù)保持傳感器管道里流體處在充斥著情況。

　　攜帶汽泡。用以液體流量測量時，當(dāng)霧沫狀汽體含量超出1％～5％的容積含量時，質(zhì)量流量計將停止工作。這種汽泡損耗了用于造成科氏力的總流量管的震動，應(yīng)將汽體清除在傳感器以前。假如難以達(dá)到，則盡量減少汽體含量（盡量提升傳感器內(nèi)的工作壓力），以確保汽泡被勻稱地分散化為較小的汽泡（保證較高的液態(tài)流動速度）。